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        光刻機會卡住中國制造的脖子嗎?2020-2025年中國光刻機市場發展前瞻

        標簽:市場 芯片 制造 技 中科院  日期:2020-09-25 19:15
        曝光系統,它采用類似照片沖印的技術,蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜,不銹鋼,未來中科院將集中全院的科研力量攻克被美國卡脖子的芯片制造技術,高端的投影式光刻機可分為步進投影
        光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。鍍膜光刻機是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

        簡單說的話,光刻機就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的光刻機相互作用時,會產生不同的殺傷破壞效應。例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的光刻機(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

        光刻機會卡住中國制造的脖子嗎?

        近日,中科院又傳來了一個好消息,中科院院長白春禮宣布:未來中科院將集中全院的科研力量攻克被美國卡脖子的芯片制造技術,而光刻機將是重中之重。這意味著中科院將全面介入光刻機和芯片制造領域,為國產芯片制造領域趕超世界先進水平掃清道路,不得不說這是中科院事關中國科技崛起的一步大棋。

        中科院是全球最大的科研機構,研究領域覆蓋了科技領域的方方面面,除了美國科學院能與其相提并論之外,全球鮮有匹敵。在中科院正式宣布進入光科技領域之后,臺積電、ASML、三星等芯片制造巨頭都感受到了巨大的威脅。

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        2020年中國光刻機市場發展現狀

        主要的光刻機生產廠家包括:ASML、尼康、佳能、歐泰克、上海微電子裝備、SUSS、ABM Inc.等。

        高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,分辨率通常七納米至幾微米之間,高端光刻機號稱世界上最精密的儀器,世界上已有1.2億美金一臺的光刻機。高端光刻機堪稱現代光學工業之花,其制造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠制造。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經購買過Nikon的高端光刻機)和日本Canon三大品牌為主。位于我國上海的SMEE已研制出具有自主知識產權的投影式中端光刻機,形成產品系列初步實現海內外銷售。正在進行其他各系列產品的研發制作工作。

        生產線和研發用的低端光刻機為接近、接觸式光刻機,分辨率通常在數微米以上。2018年11月29日,國家重大科研裝備研制項目"超分辨光刻裝備研制"通過驗收。該光刻機由中國科學院光電技術研究所研制,光刻分辨力達到22納米,結合雙重曝光技術后,未來還可用于制造10納米級別的芯片。

        隨著光刻機行業競爭的不斷加劇,大型企業間并購整合與資本運作日趨頻繁,國內外優秀的光刻機企業愈來愈重視對行業市場的分析研究,特別是對當前市場環境和客戶需求趨勢變化的深入研究,以期提前占領市場,取得先發優勢。中研普華利用多種獨創的信息處理技術,對光刻機行業市場海量的數據進行采集、整理、加工、分析、傳遞,最大限度地降低客戶投資風險與經營成本,把握投資機遇,提高企業競爭力。

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